文部科学省ナノテクノロジープラットフォーム共用設備利用案内サイトへようこそ! 研究開発に必要な最先端の装置群を日本全国の研究機関から選べます。

研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-AT-102
分類 形状・形態観察、分析 > 膜厚・段差・粗さ測定
設備名 触針式段差計
(Stylus Profilometer)
地域 関東
設置機関 産業技術総合研究所
研究分野 微細加工
担当部署または担当者 共用施設ステーション
仕様

Alpha-Step IQ型
□150㎜以内の各種試料
先端がダイヤモンドのスタイラス(触針)を用いて、測定物表面を一定の低針圧でなぞり、段差、表面粗さ、うねり等の測定を行う装置です。主に膜厚測定、表面形状の評価に用います。

  • 測定再現性:1σ≤8Å
  • 膜厚測定範囲:400 μm 
  • 走査距離:最大10mm 
  • 走査速度:毎秒2~200 μm 
  • サンプリングレート:毎秒50, 100, 200, 500, 1000ポイント 
  • 測定レンジ:20, 400 μm 
  • 針圧設定範囲:1~100 mg 
  • 最大試料サイズ:158 mm×158 mm, 重量:1 kg以下
F-AT-102

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