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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-AT-101
分類 表面分析装置 > X線光電子分光(XPS)
形状・形態観察、分析 > 分光(光、電子線、イオン線、プラズマ、磁気、X線)
設備名 エックス線光電子分光分析(XPS)装置
(X-ray Photoelectron Spectroscopy Analysis System; XPS)
地域 関東
設置機関 産業技術総合研究所
研究分野 微細加工
担当部署または担当者 共用施設ステーション
仕様

KRATOS ANALYTICAL / (株)島津製作所

  • X線源 Rowland 円直径 500mm モノクロメータ付Al Kα (1486.6 eV)
  • 光電子分光器 軌道半径165mm静電二重半球型アナライザー/球面鏡アナライザー複合型 
  • 検出器 ディレイラインディテクター(DLD)システム
  • スペクトル分析 100チャネル同時計測
  • イメージング 256×256画素(最大分解能3μm)
  • 最小スペクトル分析面積 15μmΦ 
  • エネルギ分解能 Ag 3d5/2光電子ピークが半値幅0.48 eV以下
  • 帯電中和 均一低エネルギー電子照射
  • 試料サイズ 110 mmΦ , 高さ10mm 
    (専用ホルダ使用で約20mm迄可)
  • 光電子取り出し角度 垂直(標準), 0~90°(傾斜観察ホルダ使用)
    * 傾斜観察時は試料サイズの制限があります。
  • エッチングイオン銃 Ar+, 多原子(コロネンC24H12 )イオン
  • 搭載オプション He紫外線光源(UPS用 21.2, 40.2 eV)
F-AT-101

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