文部科学省ナノテクノロジープラットフォーム共用設備利用案内サイトへようこそ! 研究開発に必要な最先端の装置群を日本全国の研究機関から選べます.

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プラットフォーム名:微細加工プラットフォーム

北海道大学 ナノテクノロジー連携研究推進室 微細加工プラットフォーム

本実施機関では光・電子・スピンを制御する新規ナノデバイス創製,バイオテクノロジーや新規マテリアル開発といったナノテクノロジーにより先端研究を加速することが可能な分野への微細加工支援を行います.高精度加工装置群と独自の加工技術に研究者の経験と熱意を結びつけ,最先端の研究開発支援・技術相談サービスを提供します.

東北大学ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム

MEMSを中心とした半導体試作開発ラインを開放しています.6インチまで対応する共用の設備で,必要な装置を必要な時に利用可能です.東北大学に蓄積されたノウハウも利用できます.デバイス/プロセス設計,装置操作指導などスタッフが最大限支援します.

NIMS微細加工プラットフォーム

多種多様な材料に適応可能な微細加工装置群および観察・計測装置群,電気特性評価装置群を合計40台(付帯装置含む)ほど完備し,ナノスケールからミリスケールにわたる3次元加工・素子作製を主として支援を実施する.

産業技術総合研究所 ナノプロセシング施設

異分野融合と人材育成を推進する場として,多種多様な超微細加工,実装,デバイス試作,材料分析,計測・評価を可能とする各種先端機器を備えたナノプロセシング施設(NPF)を産学官研究者に公開しています.

筑波大学 微細加工ナノプラットフォームコンソーシアム

北関東地域の研究機関,民間企業を中心に,ナノエレクトロニクス分野におけるデバイス設計・材料シミュレーションのシームレスな支援に貢献.

東京大学 超微細リソグラフィー・ナノ計測拠点

東京大学大規模集積システム設計教育研究センターは,15年の支援経験を生かして,高速・大面積リソグラフィの装置利用環境を提供します.加えて本プラットフォーム事業で新規に,集積回路と融合したMEMSの試作プロジェクトを開始します.

早稲田大学ナノ理工学研究機構

本拠点は,微細加工の領域において技術支援サービスを行います.共用施設である「ナノテクノロジーリサーチセンター」を中心に,企業での商品開発経験が豊富なスタッフが皆様の技術サポートをさせていただき,ナノテクノロジーの研究基盤の構築に寄与し,産官学連携や異分野融合を推進していきます.

東京工業大学 量子ナノエレクトロニクス研究センター

平成24年度発足のナノテクノロジープラットフォーム事業でも,東京工業大学は過去10年の実績を基にトップダウン式のナノ構造構築の基盤装置である電子ビーム露光を中心とした微細構造構築技術を支援致します.

名古屋大学 工学研究科 微細加工プラットフォーム

半導体,磁性体,誘電体,セラミックス系,有機系材料など広範囲の薄膜材料形成から,リソグラフィー技術,プラズマエッチング技術を利用したナノ材料,ナノ構造形成,ナノデバイス作製などに関してさまざまな支援を行います.

豊田工業大学研究支援部 研究協力グループ

シリコン系のプロセスラインを軸に,III-V族,カーボン,磁気材料も含めたマイクロ・ナノ加工に対応可能.太陽電池,ナノ構造素子,MEMSに関する研究者を備え,技術指導や委託加工に対応できる.実習・講習会,企業向け支援に実績がある.

京都大学 ナノテクノロジーハブ拠点

最新鋭微細加工装置群と8名の専門技術職員を擁する微細加工プラットフォームを駆使して,シンセシス知を創出・蓄積・活用・継承するためのアンダーワンルーフ型研究開発環境と人的交流環境を提供します.

大阪大学 大阪大学産業科学研究所 微細加工プラットフォーム

本拠点では各種量子ビームを用いたナノファブリケーション技術の開発や次世代の露光技術であるEUVリソグラフィ実現の鍵となるレジスト開発と評価,有機/無機/酸化物等の各種素材からなる極微デバイス作製・評価や特異的なナノ構造体の作製の支援を行います.

香川大学 社会連携・知的財産センター ナノテクノロジー支援室

シリコン・樹脂などの様々な材料を用いた任意の不定形から4インチ基板までの微細加工を行う前・後工程の一連の製造装置群を揃えています.四国地方では唯一の装置群は,その使いやすさから四国地方を中心とした多数機関の利用実績があります.

広島大学 ナノデバイス・バイオ融合科学研究所

クラス10のクリーンルームと電子線描画によるナノデバイス試作ラインを用いた高度な微細シリコンデバイス試作支援.10年の支援実績と多数の受賞成果.物理分野の博士研究員を再教育し半導体分野に多数輩出.

山口大学 産学公連携センター 微細加工支援室

山口大学では大学研究推進機構 産学公連携センター内に微細加工支援室を設けて,微細加工技術及びそれを下支えする高品質真空技術分野でナノテクノロジー関連装置の外部供用を推進します.

北九州産業学術振興機構 共同研究開発センター

北九州学術研究都市内の共同研究開発センターは,IC・MEMS関連デバイス研究開発向けの各種微細加工設備を有し,広く企業・大学研究機関等に開放しています.これら設備及び微細加工技術は,バイオ&ライフサイエンス,環境技術分野への活用も期待されており,企業・大学における微細加工関連の研究者のみならず,異分野の研究者(バイオ・医療系等)にも利用しやすい環境づくりを目指して取り組んでいます.

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