文部科学省ナノテクノロジープラットフォーム共用設備利用案内サイトへようこそ! 研究開発に必要な最先端の装置群を日本全国の研究機関から選べます。

研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID A-UT-087
分類 バルク分析装置 > X線回折法(XRD)
設備名 表面構造評価用多機能X線回折装置 ATX-G Ultra18 type (リガク)
(X-ray Diffractometer for surface structure analysis ATX-G Ultra18 type (Rigaku))
地域 関東
設置機関 東京大学
研究分野 微細構造解析
担当部署または担当者
仕様

4軸ゴニオメータによるin-plain測定

単色化X線によるロッキングカーブ、逆格子マップの作成

最大8インチウェーハの装着が可能

X線出力:18kW

A-UT-087

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