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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID A-UT-086
分類 透過電子顕微鏡 > 収差補正透過電子顕微鏡
設備名 原子分解能元素マッピング構造解析装置 JEM-ARM200F Thermal FE(JEOL)
(Atomic-resolution Element Mapping Diffractometer JEM-ARM200F Thermal FE(JEOL))
地域 関東
設置機関 東京大学
研究分野 微細構造解析
担当部署または担当者
仕様

□ 主な仕様

  • 分解能:
    TEM格子像 0.10nm
    TEM粒子像 0.19nm
    STEM明視野格子像 0.136nm
    STEM暗視野格子像 0.082nm
  • 倍率:
    TEM像 50~2,000,000倍
    STEM像 200~150,000,000倍
  • 収差補正装置:照射系球面収差補正装置 組み込み
  • 検出器:エネルギー分散形X線分析装置 (SDD)、電子線エネルギー損失分光器(EELS)、軽元素対応像検出器、CCD検出器(2k×2k,4k×2k)
A-UT-086

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