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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID A-UT-081
分類 試料作製装置 > 試料作製装置群
設備名 精密イオンポリッシャー(PIPS)GATAN Model-691
(Precision Ion Polisher (PIPS) Model-691(GATAN))
地域 関東
設置機関 東京大学
研究分野 微細構造解析
担当部署または担当者
仕様

【仕  様】
イオン加速電圧:1 ~ 6 kV
イオン入射角:最大±10°
真空系:分子ポンプ(MDP)、2段ダイヤフラムポンプ(DP)
使用ガス:アルゴンガス
イオンビームモジュレーション機構
CCDカメラ

【特  徴】
Arイオンを照射することで研磨するTEM用試料作製装置

A-UT-081

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