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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID A-UT-076
分類 走査電子顕微鏡 > 電界放出型走査電子顕微鏡
形状・形態観察、分析 > 走査電子顕微鏡(SEM)
表面分析装置 > 走査型電子顕微鏡
表面分析装置 > エネルギー分散型蛍光X線分光(EDS)
設備名 低損傷走査型分析電子顕微鏡(JSM-7500FA)
(Low Damage Scanning Electron Microscope JSM-7500FA(JEOL))
地域 関東
設置機関 東京大学
研究分野 微細構造解析
担当部署または担当者
仕様

□ 主な特長
 ジェントルビーム機能を搭載し加速電圧1kVで1.4nmの高分解能

□ 主な仕様

  • 二次電子像分解能:1.0nm(15kV)、1.4nm(1kV)
  • 倍率:×25~×1,000,000
  • 加速電圧:0.1kV~30kV
  • EDS
A-UT-076

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