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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID A-UT-075
分類 走査電子顕微鏡 > 低真空走査電子顕微鏡
表面分析装置 > エネルギー分散型蛍光X線分光(EDS)
設備名 低真空走査型電子顕微鏡(JSM-6510LA)
(Low Vacuum Scanning Electron Microscope JSM-6510LA(JEOL))
地域 関東
設置機関 東京大学
研究分野 微細構造解析
担当部署または担当者
仕様
  1. 本体
    加速電圧:0.5~30kV  0.5~3.0kVは100Vステップ可変  3~30kVは1kVステップ可変
    二次電子分解能:
     高真空モード:3.0nm(加速電圧30kV),15.0nm(加速電圧1kV)
     低真空モード:4.0nm(加速電圧30kV)
    倍率:×5~300,000
    プローブ電流:1pA~1μA
    試料室圧力調整範囲:10~270Pa

  2. エネルギー分散型X線分析装置(日本電子)
    検出器:エクストラミニカップEDS検出器
    エネルギー分解能129eV以下
    検出可能元素  Be~U
    分析時分解能:3.0nm(加速電圧15kV・プローブ電流15nA・WD10mm)

  3. 反射電子検出器(Si P-N複合型半導体検出器)
A-UT-075

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