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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID A-UT-074
分類 走査電子顕微鏡 > 電界放出型走査電子顕微鏡
設備名 高分解能走査型電子顕微鏡(JSM-7000F)
(High Resolution Scanning Electron Microscope JSM-7000F(JEOL))
地域 関東
設置機関 東京大学
研究分野 微細構造解析
担当部署または担当者
仕様
  1. 本体
    加速電圧:0.5~30kV  0.5~2.9kVは10Vステップ可変  2.9~30kVは100Vステップ可変
    二次電子分解能:1.2nm(加速電圧30kV),3.0nm(加速電圧1kV)
    倍率:×10(WD40)~500,000
    プローブ電流:10-12~2×10-7A

  2. 結晶方位測定装置EBSD(株式会社TSLソリューションズ)
    ソフトウェアー  OIM  Ver6.1.3

  3. 高感度反射電子検出器RBEI

  4. 走査透過電子検出器(STEM)
A-UT-074

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