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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID A-UT-073
分類 透過電子顕微鏡 > 分析電子顕微鏡
走査電子顕微鏡 > カソードルミネッセンス
表面分析装置 > エネルギー分散型蛍光X線分光(EDS)
設備名 高分解能走査型分析電子顕微鏡(JSM-7001FA)
(High Resolution Scanning Analysis Electron Microscope JSM-7001FA(JEOL))
地域 関東
設置機関 東京大学
研究分野 微細構造解析
担当部署または担当者
仕様
  1. 本体
    加速電圧:0.5~30kV  0.5~2.9kVは10Vステップ可変  2.9~30kVは100Vステップ可変
    二次電子分解能:1.2nm(加速電圧30kV),3.0nm(加速電圧1kV)
    倍率:×10(WD40)~500,000
    プローブ電流:10-12~2×10-7A

  2. エネルギー分散型X線分析装置(日本電子)
    検出器:エクストラミニカップEDS検出器
    エネルギー分解能129eV以下
    検出可能元素  Be~U
    分析時分解能:3.0nm(加速電圧15kV・プローブ電流15nA・WD10mm)

  3. カソードルミネッセンス測定装置(堀場MP-32M)
    波長測定領域:PMT200~900nm, CCD200~1100nm
    波長分解能:0.3nm
    空間分解能:1μm以下

  4. 高感度反射電子検出器

  5. 走査透過電子検出器(STEM)
A-UT-073

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