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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID A-UT-072
分類 試料作製装置 > 集束イオンビーム(FIB)
試料作製装置 > 試料作製装置群
膜加工・エッチング > 集束イオンビーム加工
設備名 CADデータ連動3次元機能融合デバイス評価用前処理システムXVision200TB(日立ハイテクノロジーズ)
(Hybrid FIB-SEM System linked with CAD navigation system XVision200TB(Hitachi High-Technologies))
地域 関東
設置機関 東京大学
研究分野 微細構造解析
担当部署または担当者
仕様

□ 主な仕様

  • FIB分解能:4nm@30kV、最大電流45nA
  • SEM分解能:3nm@5kV、加速電圧1~30kV
  • 最大8インチステージ
  • Arビーム照射
  • W,C,絶縁膜デポ  XeF,有機系エッチングガス
  • CADデータオーバレイ表示
  • 4軸マイクロプローブ
  • レーザー顕微鏡と共通の座標系
A-UT-072

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