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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID A-UT-069
分類 バルク分析装置 > 光学特性測定装置
分光 > 薄膜用紫外〜赤外反射
設備名 分光エリプソメータM-2000DI-T(J.A.Woollam)
(Spectral Ellipsometer M-2000DI-T(J.A.Woollam))
地域 関東
設置機関 東京大学
研究分野 微細構造解析
担当部署または担当者
仕様

□ 主な仕様

  • 測定波長:193~1690nm
  • チャンネル数:690同時計測
  • 回転補償子型
A-UT-069

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