文部科学省ナノテクノロジープラットフォーム共用設備利用案内サイトへようこそ! 研究開発に必要な最先端の装置群を日本全国の研究機関から選べます。

研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID A-UT-068
分類 バルク分析装置 > X線回折法(XRD)
形状・形態観察、分析 > 分光(光、電子線、イオン線、プラズマ、磁気、X線)
設備名 超精密3次元構造解析装置SuperLab(リガク)
(Ultraprecision 3D Structural Diffractometer SuperLab(Rigaku))
地域 関東
設置機関 東京大学
研究分野 微細構造解析
担当部署または担当者
仕様

□ 主な特長

  • 微小フォーカスとCMFミラーにより最高分解能で測定可能

□ 主な仕様

  • 高精度ゴニオメータ:ωと2θ軸は10万分の2度の精度で制御
  • 高分解能インプレーン測定:インプレーン方向の結晶性や光学定数を高精度に評価。逆格子マップ測定が短時間で可能
A-UT-068

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