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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID A-UT-067
分類 バルク分析装置 > X線回折法(XRD)
形状・形態観察、分析 > 分光(光、電子線、イオン線、プラズマ、磁気、X線)
設備名 高輝度In-plane型X線回折装置Smart-Lab(リガク)
(High Luminance In-plane Type X-ray Diffractometer SmartLab 9kW(Rigaku))
地域 関東
設置機関 東京大学
研究分野 微細構造解析
担当部署または担当者
仕様

□ 主な特長

  • 高輝度X線源 及び In-Planeアームを搭載した試料水平配置高精度ゴニオメータを使用したX線回折装置。
  • 粉末試料測定に適した集中法光学系,薄膜試料の測定に適している多層膜ミラーを用いた平行ビーム光学系によるX線反射率測定,逆格子マップ測定,ロッキングカーブ測定などを簡単なユニット交換で組み替えて利用することが可能。
  • インプレーンアームの搭載により、極薄膜の評価や完全極点測定が可能。

□ 主な仕様

  • X線源:9kWX線発生装置/Cuターゲット
  • 光学系:集中法・多層膜平行ビーム法・薄膜高分解平行ビーム法・インプレーン光学系
  • 検出器:シンチレーションカウンター/ 半導体1次元検出器
A-UT-067

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