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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID A-UT-062
分類 透過電子顕微鏡 > 分析電子顕微鏡
表面分析装置 > エネルギー分散型蛍光X線分光(EDS)
形状・形態観察、分析 > 透過電子顕微鏡(TEM)
設備名 高分解能分析電子顕微鏡(JEM-2010F)
(High Resolution Analysis Electron Microscope JEM-2010F(JEOL))
地域 関東
設置機関 東京大学
研究分野 微細構造解析
担当部署または担当者
仕様
  1. 本体
    加速電圧:80,100,120,160,200kV
    電子線源:熱電界放射型
    分解能:0.155nm(粒子像)
    試料最大傾斜角:±20°
    試料移動:モーター駆動
    排気方式:スパッターイオン、油拡散ポンプ

  2. 画像記録  
    シートフィルム

  3. 分析装置
    エネルギーロス型分光器(GIF)
    エネルギー分散型分光器(EDS)
A-UT-062

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