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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID A-UT-061
分類 透過電子顕微鏡 > 分析電子顕微鏡
表面分析装置 > エネルギー分散型蛍光X線分光(EDS)
表面分析装置 > 電子エネルギー損失分光(EELS)
形状・形態観察、分析 > 透過電子顕微鏡(TEM)
設備名 高分解能透過型分析電子顕微鏡(JEM-4010)
(High Resolution Transmission Analysis Electron Microscope JEM-4010(JEOL))
地域 関東
設置機関 東京大学
研究分野 微細構造解析
担当部署または担当者
仕様
  1. 本体
      加速電圧:100、150、200、250、300、350、400kV
      電子線源:単結晶LaB6
      焦点距離:3.1mm
      球面収差係数:0.7mm
      色収差係数:1.6mm
      分解能:0.155nm(粒子像)
      試料最大傾斜角 :±25°
      真空度:3×10-5Pa以下(試料室)
      排気方式:イオン、油拡散ポンプ

  2. 電子線損傷低減装置(MDS)  組込

  3. 画像記録  シートフィルムおよびイメージングプレート
    (25μm/ピクセル)

  4. 分析装置
    エネルギーロス型分光器(PEELS):組込
    エネルギー分散型分光器(EDS):組込
A-UT-061

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