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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID A-UT-060
分類 透過電子顕微鏡 > 超高圧透過電子顕微鏡
形状・形態観察、分析 > 透過電子顕微鏡(TEM)
設備名 原子直視型超高圧電子顕微鏡(JEM-ARM1250)
(Atomic Resolution Ultrahigh Voltage Electron Microscope JEM-ARM1250(JEOL))
地域 関東
設置機関 東京大学
研究分野 微細構造解析
担当部署または担当者
仕様
  1. 本体
    加速電圧:400、600、800、1,000、1,250kV
    電子線源:単結晶LaB6
    焦点距離:8.2mm
    球面収差係数:1.4mm
    色収差係数:2.5mm
    分解能:0.1nm(粒子像)
    試料最大傾斜角:±35°
    真空度:7×10-6Pa以下(試料室)
    排気方式:ターボ分子、イオン、クライオポンプ併用
    (完全ドライ方式)

  2. 電子線損傷低減装置(MDS)  組込

  3. 画像記録  シートフィルムおよびイメージングプレート
    (25μm/ピクセル)

  4. 収束電子線回折装置  組込 
    収束角(2α)/最小スポット径:
      4.0mrad./15nm~2.0mrad./30nm
    最大加速電圧 : 1,250kV
    最大試料傾斜角 : ±25°
A-UT-060

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