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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID A-UT-059
分類 表面分析装置 > 二次イオン質量分析(SIMS)
質量分析 > SIMS
設備名 超微量元素計測システム(SIMS)NanoSIMS 50L(AMETEK)
(Ultramicro Elements Measurement System(SIMS) NanoSIMS 50L(AMETEK))
地域 関東
設置機関 東京大学
研究分野 微細構造解析
担当部署または担当者
仕様

□ 主な特長

  • 高感度な元素マッピング・同位体比測定が可能
  • 高質量分解能
  • 高空間分解能:<50nm
  • 最大7種類の二次イオン像の同時検出が可能

□ 主な仕様

  • 酸素イオン源及びセシウムイオン源
  • 一次イオン及び二次イオンの同軸光学系
  • 空間分解能:<50nm
  • 質量分析計:高性能二重収束型質量分析計
  • 検出器:7台のマルチコレクタ(各コレクタに電子増倍管とファラデーカップを装備)
  • チャージ補正用電子銃
A-UT-059

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