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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID A-UT-054
分類 透過電子顕微鏡 > 分析電子顕微鏡
表面分析装置 > エネルギー分散型蛍光X線分光(EDS)
表面分析装置 > 電子エネルギー損失分光(EELS)
設備名 透過/走査型分析電子顕微鏡(TEM/STEM)JEM-2800(日本電子)
(Transmission/Scanning Type Electron Microscope JEM-2800(JEOL))
地域 関東
設置機関 東京大学
研究分野 微細構造解析
担当部署または担当者
仕様

□主な特長
電子顕微鏡観察を自動化。コントラスト&ブライトネス、試料高さ、結晶方位あわせ、フォーカス、非点補正を自動調整。TEM、STEM、SEM、電子線回折の観察モードを瞬時に切り替え可能。高性能光学系採用により高分解能観察と高速分析を両立している。

□主な仕様

  • 分解能:二次電子像≤0.5nm,走査透過像 0.2nm,透過像(格子像) 0.1nm
  • 倍率:
    二次電子像 ×100~×150,000,000
    走査透過像×100~×150,000,000
    TEM像×500~×20,000,000
  • 電子銃:ショットキー型電界放出電子銃 加速電圧 200kV・100kV
  • 試料系:試料傾斜 X軸±25° Y軸±30°
  • 分析:EDS、EELS検出器を装備
A-UT-054

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