文部科学省ナノテクノロジープラットフォーム共用設備利用案内サイトへようこそ! 研究開発に必要な最先端の装置群を日本全国の研究機関から選べます。

研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID A-TU-020
分類 試料作製装置 > 集束イオンビーム(FIB)
試料作製装置 > 試料作製装置群
膜加工・エッチング > 集束イオンビーム加工
設備名 集束イオンビーム加工装置1
(FEI Quanta 3D)
地域 東北
設置機関 東北大学
研究分野 微細構造解析
担当部署または担当者
仕様

集束イオンビーム加工装置(FEI Quanta 3D)
    加速電圧(SEM):30kV
    試料ピックアップ:Omniprobe

A-TU-020

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