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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID A-TU-019
分類 走査電子顕微鏡 > 電界放出型走査電子顕微鏡
表面分析装置 > エネルギー分散型蛍光X線分光(EDS)
形状・形態観察、分析 > 走査電子顕微鏡(SEM)
表面分析装置 > 走査型電子顕微鏡
設備名 低加速・高分解能走査電顕微鏡
(HITACHI SU8000)
地域 東北
設置機関 東北大学
研究分野 微細構造解析
担当部署または担当者
仕様

電界放射型走査電子顕微鏡(Hitachi SU8000,S-5500)
    加速電圧:0.1-30kV
    分析機能:EDS(SU8000のみ)
    STEM観察
    低加速電圧観察
    チャージアップ抑制機能

A-TU-019 A-TU-019

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