文部科学省ナノテクノロジープラットフォーム共用設備利用案内サイトへようこそ! 研究開発に必要な最先端の装置群を日本全国の研究機関から選べます。

研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID A-NU-096
分類 試料作製装置 > 集束イオンビーム(FIB)
走査電子顕微鏡 > 電界放出型走査電子顕微鏡
設備名 高速加工観察分析装置 (FIB-SEM)
(High performance focused ion beam system)
地域 中部
設置機関 名古屋大学
研究分野 微細構造解析
担当部署または担当者 超高圧電子顕微鏡施設
仕様

日立ハイテクサイエンス製 MI-4000L

  • 加速電圧:30kV (FIB, SEM)
  • マイクロサンプリング機能
  • FE-SEM、EDS およびEBSD機能

FIB-SEM with orthogonal geometry (FIB accelerating voltage up to 30 kV, SEM between 0.1 and 30 kV), equipped with Ar ion beam cleaner (0.5-2 kV), EDS, EBSD and STEM detectors. Real-time Cut & See 3D reconstruction, SEM-STEM, 3D-EDS and 3D-EBSD options are available.

A-NU-096

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