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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID A-NU-094
分類 試料作製装置 > イオンミリング
設備名 アルゴンイオン研磨装置
(Ar-ion-beam specimen preparation instrument)
地域 中部
設置機関 名古屋大学
研究分野 微細構造解析
担当部署または担当者 超高圧電子顕微鏡施設
仕様

Gatan製:PIPS II
アルゴンイオン研磨装置

・イオン銃:低エネルギー集束電極ペニングイオン銃 2式

・イオンエネルギー:100eV~8keV

・試料サイズ:3mm

・試料回転:1~6rpmまで可変

・XY切り替え範囲:±0.5mm

・試料観察:双眼顕微鏡、デジタルズームマイクロスコープ

・冷却ステージ:液体窒素(保持時間6~7時間)

・試料冷却:-120℃まで冷却可能

Precision ion polishing system for precise centering, control, and reproducibility of milling process.

A-NU-094

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