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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID A-NU-093
分類 走査電子顕微鏡 > 電界放出型走査電子顕微鏡
設備名 走査電子顕微鏡
(Scanning electron microscope)
地域 中部
設置機関 名古屋大学
研究分野 微細構造解析
担当部署または担当者 超高圧電子顕微鏡施設
仕様

FEI製  Quanta200FEG

  • 加速電圧:0.2~30kV
  • 二次電子像分解能:2nm
  • 元素分析:EDX
  • 加熱ステージ:室温~1000℃
  • マイクロマニピュレータ:2基搭載
  • LowVacuumモード:10~130Pa
  • 試料室ガス導入可能:水蒸気とガスの二系統

 

High-resolution FEG-SEM (accelerating voltage of 0.2-30 kV, equipped with EDX and atmosphere-controlling system.

 

A-NU-093

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