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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID A-NU-090
分類 試料作製装置 > 集束イオンビーム(FIB)
設備名 集束イオンビーム加工機
(Focused ion beam machining apparatus)
地域 中部
設置機関 名古屋大学
研究分野 微細構造解析
担当部署または担当者 超高圧電子顕微鏡施設
仕様

日立製FB-2100

  • 加速電圧: 40kV
  • マイクロサンプリング、CAD機能

Focused ion beam sample preparation system with both a bulk stage and a side-entry stage for TEM holder. A microsampling function is available enabling to pick up thin films directly from bulk samples and mount on a TEM sample grid without removing the sample from the vacuum. Moreover, the use of a CAD system makes it possible to fabricate samples onto the surface with graphics as desired.

A-NU-090

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