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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID A-NM-082
分類 放射光計測装置 > X線光電子分光法(XPS)
設備名 高輝度放射光硬X線光電子分光装置
(Hard X-ray Photoelectron Spectrometer)
地域 近畿
設置機関 物質・材料研究機構
研究分野 微細構造解析
担当部署または担当者
仕様

固体試料から生じる光電子の運動エネルギーを高エネルギー分解能、高角度分解能で検出可能。埋もれた界面の化学結合状態、電子構造の解析が可能。試料交換、測定プロセスを自動で実施可能。励起X線のエネルギー2~10 keVまでの広範囲を網羅。光電子の脱出角度の関数でも測定可能。

A-NM-082

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