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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID A-NM-067
分類 試料作製装置 > 試料作製装置群
設備名 オスミウムコーター
(NL-OPC80A Osmium Coater)
地域 関東
設置機関 物質・材料研究機構
研究分野 微細構造解析
担当部署または担当者
仕様

Nippon Laser &Electronics Lab社製Os corter
コーディング種:Os

A-NM-067

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