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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID A-NM-055
分類 試料作製装置 > 試料作製装置群
設備名 集束イオンビーム加工装置
(FIB system FB-2000S)
地域 関東
設置機関 物質・材料研究機構
研究分野 微細構造解析
担当部署または担当者
仕様

日立ハイテクノロジーズ社製FB-2000S

集束イオンビーム加工装置。加速電圧30kV、マイクロサンプリング機能付属。

A-NM-055

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