文部科学省ナノテクノロジープラットフォーム共用設備利用案内サイトへようこそ! 研究開発に必要な最先端の装置群を日本全国の研究機関から選べます。

研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID A-NM-045
分類 表面分析装置 > 二次イオン質量分析(SIMS)
設備名 飛行時間型二次イオン質量分析装置(TOF-SIMS)
(Time-of-Flight Secondary Ion Mass Spectrometry)
地域 関東
設置機関 物質・材料研究機構
研究分野 微細構造解析
担当部署または担当者
仕様

アルバック・ファイ社製PHI TRIFT V nanoTOF

固体試料の最表面に存在する成分(原子、分子)を調べるための装置。ppmオーダーの極微量成分を検出することができ、無機物にも有機物にも適用可能。分析用にBiクラスターイオンビームを使用し、空間分解能:<100nm (低質量分析時),<1.0 μm (高質量分析時)で、質料分解能:>11,000(低質料分子イオン),>15,000(高質量分子イオン)を実現。CCDTVまたはSEM像で分析位置を決定し、高質量分解能スペクトル測定、原子・分子イオンの2D分析、深さ方向分析、3D分析が可能。

A-NM-045

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