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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID A-NM-044
分類 特殊プローブ顕微鏡 > 走査型イオン顕微鏡
設備名 走査型ヘリウムイオン顕微鏡
(Scanning helium ion microscope)
地域 関東
設置機関 物質・材料研究機構
研究分野 微細構造解析
担当部署または担当者
仕様

カールツァイス社製ORION Plus

原子スケールイオン源、回折効果の極小化等により、世界で初めてサブナノメートルの分解能を実現した走査型イオン顕微鏡。 高元素識別性、低損傷性、絶縁体高観察能力、大焦点深度等の長所を有する。イオンビームによるナノスケール加工も可能。26年度よりガス導入システム(GIS)追加。
((CH3)3(CH3C5H4)Pt, Si(OC2H5)4, ナフタレン)導入システム追加により、イオンビーム誘起ガス分解堆積を利用して、金属や半導体などのナノスケール構造体の創製が可能。

A-NM-044

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