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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID A-NM-036
分類 試料作製装置 > イオンミリング
設備名 無損傷電子顕微鏡試料薄片化装置
(Damage-free TEM Sample Milling Apparatus)
地域 関東
設置機関 物質・材料研究機構
研究分野 微細構造解析
担当部署または担当者
仕様

Fischione Instruments社製 Model 1040 NanoMill

Ar+イオンエネルギー:50~2000eV、イオン電流:1mA/cm2、イオンビームサイズ:2 μm、イオン入射角:-10~30°、試料回転角:360°で、新たな損傷を与えずにTEM観察用試料の作成が可能。

A-NM-036

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