文部科学省ナノテクノロジープラットフォーム共用設備利用案内サイトへようこそ! 研究開発に必要な最先端の装置群を日本全国の研究機関から選べます。

研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID A-NM-030
分類 特殊プローブ顕微鏡 > 三次元マルチスケール解析
走査電子顕微鏡 > 電界放出型走査電子顕微鏡
表面分析装置 > エネルギー分散型蛍光X線分光(EDS)
設備名 微細組織三次元マルチスケール解析装置
(Versatile triple-beam scanning electron microscope)
地域 関東
設置機関 物質・材料研究機構
研究分野 微細構造解析
担当部署または担当者
仕様

日立ハイテクサイエンス社製SMF-1000

FIB-SEM-Ar-ionのトリプルガンを装備した電子顕微鏡。
世界で唯一のFIB-SEM直交配置の装置:高い空間分解能・コントラストでのFIB-SEMシリアルセクショニングによる3D再構築像観察が可能。EBSD,EDS,STEM(BF,ADF)などの多彩な検出器による同時測定が可能。

A-NM-030

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