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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID A-NM-100
分類 走査型プローブ顕微鏡 > 原子間力顕微鏡
走査型プローブ顕微鏡 > 環境制御走査型プローブ顕微鏡
設備名 多機能走査型プローブ顕微鏡
(Multifunction Scanning Probe Microscope)
地域 関東
設置機関 物質・材料研究機構
研究分野 微細構造解析
担当部署または担当者
仕様

パークシステム社製XE-100
液中、ガス雰囲気、光照射などの環境場における走査型プローブ顕微鏡(SPM)。金属、半導体、絶縁体、有機材料などの表面形状計測・表面電位計測等の表面物性評価が可能。走査範囲50μm、力学測定可、ナノインデンター機能有。

A-NM-100

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