文部科学省ナノテクノロジープラットフォーム共用設備利用案内サイトへようこそ! 研究開発に必要な最先端の装置群を日本全国の研究機関から選べます。

研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID A-KU-122
分類 試料作製装置 > 集束イオンビーム(FIB)
設備名 デュアルビームFIB-SEM加工装置(FEI Quanta 200 3D)
(Dual-beam Focused ion beam milling  (FEI Quanta 3D 200i))
地域 九州・沖縄
設置機関 九州大学
研究分野 微細構造解析
担当部署または担当者 超顕微解析研究センター
仕様

加速電圧(SEM):30kV
試料ピックアップ:Omniprobe
液体窒素:試料冷却ステージ  有

A-KU-122

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