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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID A-KU-118
分類 走査電子顕微鏡 > 電界放出型走査電子顕微鏡
バルク分析装置 > 元素・組成分析
設備名 マイクロカロリーメーター高エネルギー分解能元素分析装置(SII TES + Zeiss-ULTRA55)
(Scanning electron microscope with Micro-calorimetry EDS (Zeiss-ULTRA55 + SII-TES) )
地域 九州・沖縄
設置機関 九州大学
研究分野 微細構造解析
担当部署または担当者 超顕微解析研究センター
仕様

低加速電圧走査電子顕微鏡(Zeiss ULTRA55, 加速電圧0.1~30 kV)に超伝導マイクロカロリーメーターX線検出器を搭載。バルク材料の表面状態・元素分析高いX線エネルギー分解能~10eV(at 6keV)により、多成分系物質の高度な元素同定が可能、汎用の半導体SDD検出器も装着。

A-KU-118

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