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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID A-KT-097
分類 試料作製装置 > 集束イオンビーム(FIB)
設備名 集束イオンビーム装置
(Focused ion beam machining apparatus )
地域 近畿
設置機関 京都大学
研究分野 微細構造解析
担当部署または担当者 倉田博基
清村勤
仕様

日本電子社製JEM-9310FIB

  • Gaイオン源
  • Gaイオンエネルギー:5~30 kV
  • 最大電流10nA、分解能8nm
A-KT-097

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