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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID A-HK-026
分類 試料作製装置 > イオンミリング
試料作製装置 > 試料作製装置群
設備名 イオン研磨装置
(Ion milling system)
地域 北海道
設置機関 北海道大学
研究分野 微細構造解析
担当部署または担当者 ナノテク連携研究推進室
超高圧電子顕微鏡室
仕様

Gatan製PIPS
    加速電圧0.1kV~6kV
    試料冷却ステージ

FIB加工装置(JEM-9320FIB)

切断装置、機械研磨装置、電解研磨装置

A-HK-026

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