文部科学省ナノテクノロジープラットフォーム共用設備利用案内サイトへようこそ! 研究開発に必要な最先端の装置群を日本全国の研究機関から選べます。

研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID A-HK-023
分類 表面分析装置 > エネルギー分散型蛍光X線分光(EDS)
試料作製装置 > 集束イオンビーム(FIB)
走査電子顕微鏡 > 電界放出型走査電子顕微鏡
設備名 複合ビーム加工観察装置
(FIB-SEM system)
地域 北海道
設置機関 北海道大学
研究分野 微細構造解析
担当部署または担当者 ナノテク連携研究推進室
ナノマイクロマテリアル分析研究室
仕様

日本電子製JIB-4600F/HKD
    加速電圧:1~30kV
    分析機能:EDS、EBSD、3D観察
    像分解能:5nm(30kV)

A-HK-023

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