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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID A-HK-022
分類 試料作製装置 > 集束イオンビーム(FIB)
形状・形態観察、分析 > 試料作製装置(TEM)
設備名 集束イオンビーム加工装置
(Focused ion beam system (FB-2100))
地域 北海道
設置機関 北海道大学
研究分野 微細構造解析
担当部署または担当者 ナノテク連携研究推進室
仕様

日立ハイテク製FB-2100
    加速電圧:10kV~40kV
    3次元ホルダー及びコントローラー
    マイクロサンプリング機構あり

A-HK-022

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