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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID A-HK-014
分類 走査電子顕微鏡 > スピン偏極走査電子顕微鏡
設備名 スピンSEM
(Spin-polarized SEM)
地域 北海道
設置機関 北海道大学
研究分野 微細構造解析
担当部署または担当者 ナノテク連携研究推進室
仕様

エイコーエンジニアング・北大共同開発
    加速電圧:30KV
    阻止電極型スピン分析装置
    10~60KeV超高真空・Arスパッタ銃
    基板加熱500度
    予備加熱室・金属蒸着装置付
    RHEED

A-HK-014

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