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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID A-HK-013
分類 表面分析装置 > X線光電子分光(XPS)
表面分析装置 > 電子分光(XPS/UPS/AES)
設備名 X線光電子分光装置
(X-ray photoelectron spectrometer)
地域 北海道
設置機関 北海道大学
研究分野 微細構造解析
担当部署または担当者 ナノテク連携研究推進室
光電子分光分析研究室
仕様

日本電子製JPS-9200  
    標準X線源Mg/Alツインアノード
    モノクロX線源(Al-Ka)
    分解能0.65eV(モノクロX線源)
    中和電子銃・Ar+エッチングイオンガン搭載
    

A-HK-013

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