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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID A-HK-012
分類 表面分析装置 > オージェ電子分光(AES)
表面分析装置 > 電子分光(XPS/UPS/AES)
設備名 オージェ電子分光装置
(Auger electron spectrometer)
地域 北海道
設置機関 北海道大学
研究分野 微細構造解析
担当部署または担当者 ナノテク連携研究推進室
光電子分光分析研究室
仕様

日本電子製JAMP-9500F  
    二次電子分解能3nm(最小)
    オージェ分析プローブ径8nm(最小)
    反射電子検出器内臓
    その他分析機能:EBSD
    中和電子銃・Ar+エッチングイオンガン搭載
    関連装置:クロスセクションポリッシャ(SM-09010)

A-HK-012

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