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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID A-AT-061
分類 表面分析装置 > エネルギー分散型蛍光X線分光(EDS)
設備名 超伝導蛍光X線検出器付走査型電子顕微鏡(SC-SEM)
(scanning electron microscope with a superconducting tunnel junction X-ray detector (SC-SEM))
地域 関東
設置機関 産業技術総合研究所
研究分野 微細構造解析
担当部署または担当者 ANCF事務局ancf-contact-ml[アット]aist.go.jp ([アット]を@にして送信下さい)
仕様

高感度、高分解能の超伝導検出器を搭載した、蛍光X線検出器付走査型電子顕微鏡です。電子線で試料上を走査する際に放出される蛍光X線を測定することにより、主に軽元素の分布状態を評価します。
●蛍光X線エネルギー範囲:100eV-2keV
●エネルギー分解能:~10eV@600eVX-ray
●計数率:~1Mcps
●走査型電子顕微鏡:FEIXL30
●加速電圧範囲:200eV-30keV
●電子ビームサイズ(最適値):3.5nm@30 keV, 25nm@1 keV
●最大サンプルサイズ:2インチ
●機械式ヘリウム3冷凍機を用いて簡単に冷却でき、長時間の測定可能
測定例
●省エネ半導体、酸化物、構造材などに含まれる軽元素
●定性分析、簡易的な定量分析、マッピング分析

A-AT-061

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