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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID A-AT-056
分類 走査型プローブ顕微鏡 > 走査型トンネル顕微鏡
走査型プローブ顕微鏡 > 原子間力顕微鏡
走査型プローブ顕微鏡 > 環境制御走査型プローブ顕微鏡
形状・形態観察、分析 > 走査プローブ顕微鏡(SPM)
設備名 リアル表面プローブ顕微鏡(RSPM)2(SII、RIBM他、改造、付帯装置)
(Real surface probe microscope (RSPM)2)
地域 関東
設置機関 産業技術総合研究所
研究分野 微細構造解析
担当部署または担当者 ANCF事務局: ancf-contact-ml[アット]aist.go.jp ([アット]を@にして送信下さい)
仕様

日立ハイテクサイエンス社製E-SWEEP、S-Image、
RIBM社 Nanoexploer

  • AFM探針形状評価によるイメージ補正
  • 溶液中での高速リアルタイムイメージング(毎秒10フレーム程度)
  • 試料サイズ10mm角以内。(ウエハー測定は相談により対応可能)
  • 真空対応
  • 電気測定(SCM, SNDM, C-AFM)、ケルビンプローブ法。
  • 画像解析ソフトウエア

日立ハイテクサイエンス社E-SWEEP/S-Image

  • 大気・真空(~10-3 [Pa])下測定可能
  • 湿度制御可能
  • 振幅制御モード可能
A-AT-056 A-AT-056 A-AT-056

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