文部科学省ナノテクノロジープラットフォーム共用設備利用案内サイトへようこそ! 研究開発に必要な最先端の装置群を日本全国の研究機関から選べます。

研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID A-AT-052
分類 表面分析装置 > X線光電子分光(XPS)
表面分析装置 > 電子分光(XPS/UPS/AES)
設備名 極端紫外光光電子分光装置(EUPS)
(Extreme Ultraviolet excited Photoelectron Spectroscopy (EUPS))
地域 関東
設置機関 産業技術総合研究所
研究分野 微細構造解析
担当部署または担当者 ANCF事務局: ancf-contact-ml[アット]aist.go.jp ([アット]を@にして送信下さい)
仕様

産総研で基本原理を考案し装置化した、世界で唯一の表面分析装置
分析法としての特長ーー物性を決める物理量が評価できる。 
①深さ分解能0.5nmで、最表面原子層の情報②絶縁薄膜、有機薄膜が帯電しない③SPVで内部情報を得て、バンド曲がりの評価④電子雲の傾斜角が評価でき、π、σ電子を識別⑤真空準位評価⑥最表面原子層の金属性を見て、ナノ粒子表面の汚染度評価
装置仕様
●EUV光子エネルギー:255.17eV
●EUVパルス幅:3nsec
●光電子スペクトル分解能:~0.3eV
●試料上ビーム径:50μm

 

A-AT-052

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