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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID A-AT-049
分類 走査型プローブ顕微鏡 > 走査型トンネル顕微鏡
走査型プローブ顕微鏡 > 原子間力顕微鏡
走査型プローブ顕微鏡 > 環境制御走査型プローブ顕微鏡
形状・形態観察、分析 > 走査プローブ顕微鏡(SPM)
設備名 リアル表面プローブ顕微鏡1(RSPM)(JSPM5400他、改造)
(Real surface probe microscope (RSPM)1)
地域 関東
設置機関 産業技術総合研究所
研究分野 微細構造解析
担当部署または担当者 ANCF事務局: ancf-contact-ml[アット]aist.go.jp ([アット]を@にして送信下さい)
仕様

・JEOL社製JSPM5400

  • AFM探針形状評価によるイメージ補正
  • 試料サイズ10mm角以内(ウエハー測定は対応可能)
  • 真空対応
  • 電気測定も限定的に可能
  • 画像解析ソフトウエア

・SII社E-SWEEP/S-Image

  • 大気・真空(~10-2 [Pa])下測定可能
  • 湿度制御可能
  • 振幅制御モード可能
  • 電気測定も限定的に可能

・産総研自主開発  超真空トンネル顕微鏡/原子間力顕微鏡

  • イオンスパッター、原子状水素による表面処理可能
  • 電子ビーム加熱、液体窒素冷却可能
  • 表面オージェ電子分光可能 
  • 表面吸着分子の質量分析可能
A-AT-049 A-AT-049

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