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機関名:東京大学

東京大学 ナノ工学研究センター

本拠点では最先端電子顕微鏡による原子構造解析や軽元素観察,多機能・高性能X線回折装置による結晶構造解析,NanoSIMSによる高分解能微量元素分析を中心に各種の分析を行うことができます.都心にあり,これらの設備を集中的に配置しておりますので,いつでもご利用が可能です.ご相談はコーディネート室までどうぞ.

東京大学 超微細リソグラフィー・ナノ計測拠点

東京大学大規模集積システム設計教育研究センターは,15年の支援経験を生かして,高速・大面積リソグラフィの装置利用環境を提供します.加えて本プラットフォーム事業で新規に,集積回路と融合したMEMSの試作プロジェクトを開始します.

該当する大分類件数:18件