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機関名:東京工業大学

東京工業大学 量子ナノエレクトロニクス研究センター

平成24年度発足のナノテクノロジープラットフォーム事業でも,東京工業大学は過去10年の実績を基にトップダウン式のナノ構造構築の基盤装置である電子ビーム露光を中心とした微細構造構築技術を支援致します.

該当する大分類件数:13件