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大分類:表面分析装置

表面分析装置

英語名:Equipment for Surface Analysis.試料表面の物性を測定する装置.ここでは,操作型電子顕微鏡,電子分光(XPS, UPS, AES),イオン散乱分光装置を指す.これ等装置によって,物質表面の原子を電子線やX線で励起した際に放出される光電子やイオンを検出し分析することにより,物質表面の電子状態及び原子状態等を分析する.励起に用いる電子線等の試料内への侵入深さが小さいため,表面のみの情報を得ることができる.

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