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大分類:機械計測

機械計測

MEMSデバイスなどの機械的特性評価と微粒子の各種パラメータの計測評価を行う装置がある.前者については,デバイスの微小振動や微小材料の機械変形評価等の装置があり,後者については分散している微小粒子の粒径分布,分子量,ゼータ電位,分子間力や粒子の動きなどを測定・評価する装置がある.

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